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敏感元件是能夠(gou)靈敏地感受被測(ce)變量并作出響應(yīng)的元件。如✍️:彈性膜(mó)盒能感受壓力的(de)高低而引起形變(biàn),形變的程👉度就是(shì)對壓力高低的響(xiang)應,因此,彈性膜盒(hé)👉是一種壓力敏感(gǎn)元件。
傳感器不但(dàn)應該對被測量敏(min)感,而且具有把它(ta)對被🌈測量的🔆響應(ying)傳送出去的功能(neng)。也就是說,傳感器(qì)不隻是一般的⭐敏(mǐn)感🍉元件,它的輸出(chū)響應還必須是易(yi)于傳送的物理量(liàng)。例如:上訴的彈性(xìng)膜盒的輸出響應(ying)是形變,是微小的(de)幾何量,不便于向(xiang)🔞遠方傳送。如果把(bǎ)膜盒中心的位移(yí)轉變爲電容極闆(pan)的間隙變化,就成(cheng)爲輸出響應是電(dian)容量的
壓力傳感(gǎn)器。
由于電信号便(biàn)于傳送,所以絕大(dà)多數傳感器的輸(shū)出是電量的形式(shì),如電壓、電流、電阻(zǔ)、電感、電容、頻率㊙️等(deng)。
變送器是從傳感(gǎn)器發展而來的,凡(fán)能輸出标準信号(hào)的傳感器就稱爲(wei)變送器。(标準信号(hao)是物理量的🔅形式(shì)和數值範圍都符(fu)合标準的信号。例(li)如直流4~20mA)有了統一(yi)👣的信号形式和🔞數(shù)值範📧圍,就便🤟于把(ba)各種變送器和其(qi)㊙️他儀表組⭐成檢測(ce)系統或調節系統(tǒng)。
輸出爲非标準信(xìn)号的傳感器,必須(xu)和儀表或裝置⭐配(pèi)套,才能實現檢測(ce)或調節功能。爲了(le)通用性和靈活性(xìng),某些傳感器的輸(shū)出可以靠轉換器(qi)把非标準信号轉(zhuǎn)換成标🐉準信号,使(shi)之與帶有标準信(xìn)号的輸入電路或(huo)接口的儀表配套(tao)。不同的标準信号(hào)也可借助于轉換(huan)器互相轉換。例如(rú)利用氣/電轉換器(qi),能把20~100 kPa的空氣壓力(lì)轉換成0~10mA的直流電(dian)流。
位式作用和連(lián)續作用:
位式作用(yòng),也稱爲開關作用(yong),即傳感器在輸入(rù)變量整個變化範(fàn)圍内其輸出相應(ying)隻有兩種狀态,例(li)如空氣🌈狀态的“高(gao)”和“低💃”。
位式作用的(de)傳感器多用于被(bei)測變量的超限報(bào)警、連☀️鎖保護、順序(xu)控制。例如我們的(de)壓力開關。
需要連(lian)續檢測或調節某(mǒu)些變量時,就必須(xū)用連續作用的傳(chuán)感器或變送器。
長(zhǎng)野的變送器中所(suǒ)使用的傳感器SS—蒸(zhēng)發型半導體應🌈變(biàn)片的特點:
(1)相對于(yú)粘貼式和擴散式(shì)技術。
(2)其可測壓力(li)範圍 -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。
(3)具有耐用性(xìng)和穩定性。
半導體(ti)應變片的制作方(fang)法:粘貼方式、蒸發(fa)方式、擴散方式💰。
長(zhǎng)野的變送器,如KM31、KM10 等(deng),其半導體應變片(pian)部分、感應元件(不(bú)鏽鋼隔膜)以及壓(yā)力接口部分通過(guò)焊接連接成一體(ti),具有很高的穩定(ding)性和可靠性,抗震(zhen)性和抗沖擊性良(liang)好。
蒸發式半導體(ti)應變片的具體制(zhi)作方式如下:
(1)在不(bú)鏽鋼隔膜上使用(yòng)CVD等離子沉澱一層(ceng)SiO2絕緣膜
(2)在SiO2絕緣膜(mo)上再沉澱一層多(duo)晶矽。
(3)在多晶矽上(shang)使用激光蝕刻,應(ying)變片成型 。
(4)用電子(zi)束照射蒸鍍,配上(shàng)金制電極。
(5)再使用(yòng)CVD等離子沉澱一層(ceng)SiNx保護膜。
根據傳感(gan)器或變送器的安(an)裝場所有無易燃(ran)易爆氣體及危險(xiǎn)程度,選擇隔爆型(xing)及本安型。
(1)隔爆型(xing)在内部電路和周(zhōu)圍易燃氣體之間(jian)采取了隔離措施(shī),允許使用在有一(yi)定危險性的環境(jing)裏 。
(2)本安型即本質(zhì)安全型的簡稱,依(yi)靠設計的電路保(bǎo)證在正常工作及(jí)故障(意外短路或(huo)斷路)狀态下都不(bu)會👉引起燃爆事故(gu),可用在十分易燃(ran)易爆的場所🌈。
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