摘要:讨論了(le)金屬管浮子流量(liang)計 加裝阻尼器在(zài)多晶矽生産中的(de)應用方案,并對流(liú)量計使用阻💰尼器(qì)前後的效果作了(le)對比。
1金屬管浮子(zi)流量計的工作原(yuán)理及一般應用
　　轉(zhuǎn)子流量計 ,又稱浮(fu)子流量計,金屬浮(fú)子流量計由于其(qí)結構簡單，可靠性(xing)強,可輸出标準信(xìn)号,并能實現流量(liàng)的指示、積㊙️算、記錄(lu).控制和報警等多(duō)種功能,所以在工(gong)，業生産中被廣泛(fan)應用。
1.1金屬管浮子(zǐ)流量計的工作原(yuan)理
　　金屬管浮子流(liu)量計采用可變面(mian)積式測量原理。llj 主(zhǔ)要♌由三部👄分組成(cheng):測量管、浮子.耦合(he)指示系統。如原理(li)圖所示,相對應測(ce)🧡量介質的某--流量(liàng)。磁性浮子在測量(liang)管❌中對應一個浮(fú)子位置.這個浮子(zǐ)位置通過指示器(qi)中的經過充磁的(de)磁耦合指示系統(tǒng)帶動指針,由刻度(dù)盤和指針讀出相(xiang)應的流量計。也可(kě)配裝不同的轉換(huan)器.将流量值轉換(huàn)成标準的電遠傳(chuán)信号,從而實現遠(yuan)距🈲離顯示、記錄、積(ji)算和控制功能。金(jīn)屬管轉子流量計(ji)在耦合指示系統(tǒng)的📐設計上可以爲(wei)各種應用場合提(tí)供🈲可靠适⛷️用的功(gōng)能組合,如現場指(zhǐ)針顯示、LCD顯示瞬時(shí)和累計流量等。在(zai)💔指示器供💛電選擇(ze)方面♉有電池供電(diàn)、24VDC供💋電、220VAC供電,方式根(gēn)據現場情況選擇(ze)。
 
1.2金屬管浮子流量(liang)計的一般應用
　　工(gōng)業上常用的流量(liang)計除了金屬轉了(le)流量計外，還有 差(cha)壓流量計 、 渦街流(liu)量計 、 電磁流量計(jì) 、 超聲波流量計 、 渦(wō)輪流量計 、 橢圓齒(chǐ)輪流量計 等。每種(zhong)流量計在針對不(bú)同的被測流體、不(bu)同的流動狀态、不(bú)同的測量場所,各(ge)有其優勢和劣勢(shi).比如在流速不🧡同(tóng)的場合中,中高流(liú)速下的流量測量(liang)已有孔闆.渦街等(deng)多種流🛀🏻量計能夠(gou)實現正确測量,而(er)👌在較低流🧑🏽‍🤝‍🧑🏻速、較高(gāo)壓❗力的流量測量(liàng)中,尤其低雷諾系(xi)數的情況👣下.金屬(shu)管浮子流盤計就(jiù)起到非常重⭕要的(de)作用。
 
2金屬管浮子(zi)流量計加裝阻尼(ní)器在多晶矽生産(chan)中的應用
2.1阻尼器(qì)的工作原理
　　使自(zì)由振動衰減的各(gè)種摩擦和其他阻(zǔ)礙作用，我們稱之(zhi)爲阻尼。而可以提(tí)供運動的阻力,耗(hào)碰運動能量的裝(zhuāng)❌置,我們稱💰爲阻尼(ni)器。目前各種應用(yòng)中有:彈貧阻尼器(qì)、液壓阻尼器、粘滞(zhì)阻尼器.氣阻尼器(qì)、電💋磁阻尼器等。
2.2金(jīn)屬管浮子流量計(ji)在使用中出現的(de)問題
　　轉子流量計(jì)在多晶矽生産現(xiàn)場使用過程中,由(you)于測量介質💃🏻瞬間(jiān)流量過小或不穩(wěn)定、操作壓力低或(huò)不穩🔅定,儀表前後(hou)測量管🐇道内徑變(bian)化過大，前後直管(guan)段嚴重不符合使(shi)用規定要求，尤其(qi)⛷️是測量介質爲氣(qi)體等情況下會♉造(zao)成流量計測量管(guan)内介質流動極不(bu)穩定,引起浮子發(fa)生跳動的現象。浮(fu)子的垂🌐直上下直(zhí)線運動通過磁耦(ou)合系統傳遞、傳化(hua)爲指針軸的轉🤩動(dong)運行,與指針軸組(zu)合成一-體的指針(zhen)轉動從而擡示介(jiè)質的瞬時流量。流(liú)量計測量管中浮(fu)子發生的跳動現(xian)象傳遞給指針,就(jiù)變成爲指針連續(xù)不停頓的擺動現(xian)象，造成流量指示(shì)不穩定,甚至⚽根本(běn)不能讀😍取刻度值(zhí),确⁉️定瞬時流量數(shu)值。如果現場出現(xian)這種現象,通常的(de)🐅處理方法是分析(xī)造成指針擺動的(de)💃🏻主要原因,多數情(qing)況下從多晶矽生(shēng)産工藝上采取措(cuo)施,改善介質流動(dòng)狀況,從而減少、避(bì)免🔞指針的擺動。但(dàn)是很❌多時候指針(zhēn)擺動的頻率、幅度(dù)🔴很難從根本.上避(bi)免、降低。
2.3氣阻尼器(qi)在金屬管浮子流(liú)量計中的應用
　　在(zai)儀表測量管中加(jiā)裝氣阻尼器成爲(wèi)解決浮子跳動,指(zhi)針擺🏃‍♀️動的有效方(fāng)法之一。該裝置包(bāo)括氣阻尼頭與氣(qì)阻尼套,二者爲間(jiān)隙配合,二者間形(xing)成的腔體中充滿(man)測量介質,當浮子(zi)向上或向下運動(dòng)時,測量介質必須(xū)排出或進人腔體(tǐ),由于阻尼頭與阻(zu)尼套之間間隙💁很(hěn)小，測量介質排出(chū)或進人腔體的速(su)度滞後于浮子向(xiang).上或向下運動的(de)速度.從而起到阻(zǔ)尼效果,降低.浮子(zi)向.上👅或向下運動(dong)的速度,過低指針(zhēn)擺動的頻率、幅度(dù)。
2.3.1氣阻尼器使用中(zhōng)需要注意的問題(ti)。
　　現有阻尼裝置中(zhōng)的氣阻尼頭與阻(zǔ)尼套之間的配合(hé)爲面接觸.與流量(liàng)計測量管與介質(zhi)流動極不穩定,引(yin)起浮子發生跳動(dong),加之加工誤差,常(chang)會使氣阻尼頭随(suí)浮子導向.杆産生(sheng)偏移.導緻氣阻尼(ní)頭過快的磨損，嚴(yan)重時使氣阻尼套(tào)卡住,影響阻尼效(xiào)果,縮短氣阻尼裝(zhuāng)💋置的使用壽命。
2.3.2解(jiě)決方案。
　　爲了解決(jue)可能存在的不足(zú),可采用了以下新(xin)技術。改⭐變🌈氣😄阻尼(ní)頭與氣阻尼套之(zhi)間的配合方式,使(shi)之配合的表面形(xíng)狀爲球面,球面的(de)圓心在氣阻尼頭(tou)與氣阻尼套配合(hé)的中軸線上,使氣(qì)阻尼頭與氣阻尼(ni)套之間的配合爲(wèi)線性接觸。當氣阻(zu)尼頭随浮子㊙️導向(xiang)杆産生偏移時,氣(qì)阻尼頭與氣阻♍尼(ni)套之間的💰配合始(shi)終是線接觸，既可(kě)防止氣阻尼頭與(yǔ)氣阻尼套卡住.義(yi)使氣阻尼頭磨損(sǔn)平均,延長了氣阻(zǔ)尼裝置使用壽命(mìng)。
 
2.4電磁阻尼器在金(jīn)屬管浮子流量計(ji)中的應用
　　由于轉(zhuan)子流量計的測量(liàng)管爲機械結構.測(ce)量時對波動很敏(min)感,經常會出現指(zhǐ)針波動嚴重,甚至(zhì)影響讀數的情況(kuàng)。除了在測量管中(zhong)加裝氣阻尼器之(zhī)外,還可以⚽在指針(zhēn)😘組件中增加電磁(ci)阻尼器,使指針擺(bǎi)動的頻率、幅度大(da)幅度降低，使指針(zhen)指示穩定，刻度🈚值(zhi)讀取變得容易，讀(dú)取精度更高。
　　電磁(ci)阻尼器的工作原(yuán)理。電磁阻尼器由(yóu)磁鋼、連接件🈚、金🌈屬(shǔ)闆等組裝後爲一(yi)體。指針的配重爲(wei)導電金屬鋁合金(jīn)👉,根據電磁🈚感應定(ding)律,配重在磁場中(zhōng)運動，切割磁力線(xiàn).必然産生感應電(dian)✏️動勢,從而在配重(zhòng)中💃🏻産生渦電流;磁(cí)場對帶電導體必(bi)然産生作用力,而(er)此作用力恰好起(qǐ)到阻礙配重在磁(cí)場中運動的作🌂用(yòng),配重運動的速度(du)越大,産生的反作(zuo)用也越大,其效果(guǒ)類似于阻尼器,從(cóng)而使電磁阻尼器(qì)起到降低指🚩針擺(bai)動頻率、幅度的作(zuo)用.達到穩定的效(xiao)果。
 
　　與現有技術相(xiang)比，通過增加電磁(ci)阻尼器裝置,可有(you)效改善流量🔞計的(de)使用效果，使指針(zhen)的擺動頻率和幅(fú)度大幅度降🎯低，指(zhi)針穩定指示,刻度(dù)值的讀取變得容(róng)易，讀取精度提高(gāo),既提高㊙️了效率也(ye)保證了精度。

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